分子泵的維修流程大致分為:再現(xiàn)性確認(rèn)→電氣特性檢測→分解→打包→清洗→更換備件包→轉(zhuǎn)子動平衡調(diào)整→重新裝配→調(diào)整各個機(jī)械參數(shù)及傳感器校正→泵體檢漏→運轉(zhuǎn)測試(包括直立運轉(zhuǎn)與水平運轉(zhuǎn)兩種極端狀態(tài)，同時用頻譜分析儀監(jiān)測其動態(tài)參數(shù)) →包裝。詳細(xì)如下:
1、再現(xiàn)性確認(rèn)
目的：再次確認(rèn)分子泵在客戶使用過程中及運輸過程中是否發(fā)生損壞。如果發(fā)生損壞，提前鎖定損壞部位，以便做好維修的準(zhǔn)備工作。
2、電氣特性檢測
目的：用于測量泵體內(nèi)部各個磁力驅(qū)動線圈及位移傳感器的電氣特性是否合格，這是在再現(xiàn)性確認(rèn)基礎(chǔ)上的進(jìn)一步檢測。
3、分解
原因與目的：最終確認(rèn)各個零件狀況的優(yōu)劣，并為清洗做好準(zhǔn)備工作。只有分解之后才能清洗泵體內(nèi)部的各個零件。
4、清洗
原因與目的:洗去泵體內(nèi)部的附著的生成物與其他雜質(zhì)，改善分子泵的使用狀況，這也是分子泵保養(yǎng)的主要目的之一。
5、更換備件包
原因與目的：備件包主要包括保護(hù)軸承與密封圈。由于之前使用的保護(hù)軸承隨著轉(zhuǎn)子沖擊與生成物腐蝕導(dǎo)致其保護(hù)作用下降，密封圈也隨著使用時間與生成物腐蝕而老化，所以為了強(qiáng)化保護(hù)性能與密封，必須更換二者。
6、轉(zhuǎn)子動平衡
原因與目的：分子泵在使用一段時間之后，由于應(yīng)力變形、溫度效應(yīng)、各種沖擊與振動、電磁于擾、氣壓擾動等的不良影響與作用，轉(zhuǎn)子的動平衡狀況會惡化，從而誘發(fā)轉(zhuǎn)子振動沖擊，極易損壞。有時甚至無法正常啟動。
動平衡分為兩個步驟：
(1)上動平衡，這是粗調(diào)，是裝配前的大致調(diào)整，僅僅能夠達(dá)到裝配標(biāo)準(zhǔn)，并不能達(dá)到非常精準(zhǔn)的要求。所以，這一步完成之后，還需要進(jìn)一步的精密平衡技術(shù)，用以消除裝配誤差和溫度效應(yīng)；
(2)裝配之后的現(xiàn)場動平衡，即整體動平衡，這是精調(diào)，能夠消除裝配誤差和溫度效應(yīng)。這一步對于分子泵的穩(wěn)定性和可靠性而言具有決定性作用。
7、重新裝配
原因與目的：上述各個步驟完成之后，進(jìn)入重新裝配是水到渠成的，任何機(jī)器不裝配起來以散件的形式存在都是無法使用的。
8、調(diào)整各個機(jī)械參數(shù)及傳感器校正
原因與目的:每一種機(jī)器裝配之后都面臨各種參數(shù)的調(diào)試與調(diào)整，分子泵自然也不例外。調(diào)整內(nèi)容同樣包括機(jī)械部分的參數(shù)與各個傳感器的校正。
9、泵體檢漏
原因與目的:作為真空獲得設(shè)備，任何泄露都是不允許的。所以，對泵體檢漏也是必不可少的作業(yè)環(huán)節(jié)。
10、運轉(zhuǎn)測試
原因與目的：分子泵作為磁懸浮軸承支承的超高速旋轉(zhuǎn)設(shè)備，進(jìn)行運轉(zhuǎn)測試是非常必要的。測試內(nèi)容包括泵體直立狀態(tài)下的動態(tài)參數(shù)與泵體水平狀態(tài)下的動態(tài)參數(shù)，并使用頻譜分析儀嚴(yán)格監(jiān)測各個主要諧振區(qū)的動態(tài)參數(shù)及參數(shù)變化，以及整個加減速過程的參數(shù)變化趨勢，每個主要參數(shù)都必須合格。這是最為重要、最為嚴(yán)格的作業(yè)環(huán)節(jié)
11、電磁擾測試
由于分子泵采用磁懸浮軸承技術(shù)，所以，外來電磁干擾測試必不可少。如果工作環(huán)境的電磁干擾過大過強(qiáng)，勢必會影響分子泵運轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性與可靠性。
12、外來振動與沖擊模擬測試
分子泵工作時主軸處于懸浮狀態(tài)，對外來振動與沖擊提出了很高要求，必須在運轉(zhuǎn)測試過程中進(jìn)行該項的測試工作。
13、真空度確認(rèn)
分子泵的真空度確認(rèn)標(biāo)準(zhǔn)為:8小時內(nèi)真空度要達(dá)到 5.5X10-5Pa，否則，會被認(rèn)為不合格。
14、發(fā)電保護(hù)確認(rèn)
目前絕大部分磁懸浮軸承式分子泵都搭載了發(fā)電保護(hù)功能，必須在維修時對這一功能是否正常進(jìn)行確認(rèn)。否則，萬一發(fā)生高速沖擊，后果會很嚴(yán)重。
15、包裝
原因與目的：以上作業(yè)合格完成之后，需要將泵體包裝，以便返送給用戶包裝要做到密封、干燥、填充物力度適中等要求。
16、維修完畢，返還客戶
